某半导体设备心片制做厂在晶圆加工厂过程中中，安全使用硅烷做硅外加种植，尾气排放清洗塔生产高氨水浓度含硅电镀工业废水。电镀工业废水具备有pH下降大（2-11）、硅硫含量高的的特点，经典清理具体方法易导致硅垢闭塞情况。 废液化学物质及起源 废气主要是物质为： 溶于性硅酸盐 ：SiO₂浓度值达1000-1500mg/L 硝酸钠/氢钝化钠 ：洗衣剂塔酸碱性洗衣剂液残余物 颗粒物硅 ：纳米技术级SiO₂胶体溶液 痕量砷 ：奶茶原料沉淀物带去 加工的工艺程序 全新用于"有级中合+膜过滤器+多效蒸发成果"艺： 两级中合 ：用CaO调高pH至4-5，产生硅酸钙乳浊液，硅祛除率60%。 五级结合 ：加Na₂CO₃将pH升级至9，进每一步乳浊液用不完硅，串连用镁剂除砷。 反渗透装置设计 ：0.02μm陶瓷厂家膜过滤系统纳米技术级硅科粒，通量稳固在80LMH。 MVR空调冷凝器器 ：精提高盐电镀废水，结晶体出Na₂SO₄副好产品，水中水回用率超90%。 终结实际效果 总硅从1500mg/L减少为5mg/L以内 砷含磷量从0.8mg/L下降0.01mg/L 控制系统无结渣电脑运行高达2年 去年二手回收浓盐酸钠结晶体约800吨